Fokus pada Industri Gas Khusus

Gas elektronik mencakup gas khusus elektronik dan gas curah elektronik.Mereka adalah bahan yang sangat diperlukan dan penting dalam proses pembuatan sirkuit terpadu, panel display, penerangan semikonduktor, fotovoltaik, dan industri lainnya.Gas khusus elektronik merupakan bahan pendukung yang diperlukan untuk pembuatan sirkuit terpadu.Mereka banyak digunakan dalam fotolitografi, etsa, pembentukan film, pembersihan, doping, deposisi dan proses lainnya.Mereka memiliki persyaratan tinggi untuk kemurnian, stabilitas, wadah pengemasan, dll., yang dikenal sebagai "makanan" dan "darah" industri semikonduktor.Manufaktur sirkuit terpadu melibatkan ribuan proses, yang sangat kompleks dan memerlukan penggunaan ratusan gas khusus elektronik.Dalam manufaktur sirkuit terpadu, gas elektronik dapat dibagi menjadi gas doping, gas implantasi ion, gas pembersih, gas etsa, dan gas fotolitografi sesuai dengan proses yang berbeda;gas elektronik banyak digunakan dan memiliki persyaratan teknis yang tinggi.Sumber dan sistem pasokannya mempunyai persyaratan yang menuntut.Kemurnian gas adalah parameter inti produk gas khusus, yang memerlukan ultrapure dan ultraclean.Ultra murni membutuhkan kemurnian gas mencapai 4,5N, 5N atau bahkan 6N atau 7N.Setiap kali kemurnian meningkat satu N dan setiap kali konsentrasi partikel dan pengotor logam berkurang satu urutan besarnya, kemurnian gas akan meningkat satu urutan besarnya.Membawa perbaikan signifikan dalam kompleksitas dan kesulitan proses.Untuk gas campuran, keakuratan proporsi adalah parameter inti.Seiring dengan peningkatan komponen produk dan peningkatan akurasi persiapan, pemasok gas seringkali diharuskan melakukan pengoperasian yang tepat pada komponen gas dengan berbagai konsentrasi tingkat ppm atau bahkan ppb.